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기가포톤은 고신뢰의 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 'GIGANEX' 시리즈의 어닐링용 엑시머 레이저 개발에 성공, 브이 테크놀로지의 극소 레이저 어닐링 장치에 탑재되어 이번에 대형 액정 제조 설비 공장에서 LTPS(저온 다결정 실리콘)용으로 출하되었다고 발표했다.
온라인기사 2016-06-24
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