대형 액정 제조 설비 공장 LTPS(저온 다결정 실리콘) TFT 액정 패널의 시험 제작 성공에 공헌
반도체 리소그래피 광원의 주요 제조업체인 기가포톤은 고신뢰의 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 응용한 'GIGANEX' 시리즈의 어닐링용 엑시머 레이저 개발에 성공, 주식회사 브이 테크놀로지의 극소 레이저 어닐링 장치에 탑재되어 이번에 대형 액정 제조 설비 공장에서 LTPS(저온 다결정 실리콘)용으로 출하했다.
최근 기가포톤은 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저에서 축적한 기술을 다른 분야에서 응용하기 위해 FPD 제조에 대한 a-Si(비정질 실리콘)막의 극소 레이저 어닐링 공정용 엑시머 레이저 개발을 진행하고 있으며, 이번에 개발에 성공한 신형 엑시머 레이저 GIGANEX의 시험 제작기를 패널 제조업체에 출하했다. 2016년 5월 22~27일에 미국에서 개최된 Display Week 2016에서는 시험 제작 패널이 출품되어 많은 반향을 불러 일으켰다.
이 GIGANEX 시리즈의 어닐링용 엑시머 레이저는 브이 테크놀로지사가 제작한 장치의 전용기로, 극소 레이저 어닐링 공정의 광원으로 개발됐다. 극소 레이저 어닐링의 특징은 기존의 a-Si 패널 제조 공정에 도입하여 a-Si를 p-Si(폴리 실리콘)로 결정화하면 기존의 a-Si에서는 제작할 수 없었던 8K 등의 고화질 패널 제조가 가능하게 된다는 점이다. 또한 기존의 레이저 어닐링에서는 실현할 수 없었던 대형 패널 크기에도 적합하므로 50-70인치의 TV 패널을 제조하는 대형 액정 제조 설비 공장에서도 대응할 수 있다.
기가포톤 대표이사 겸 CEO인 토마루 히토시는 ‘새로운 분야를 위한 당사의 엑시머 레이저 GIGANEX가 FPD 업계에 도입되어 패널 제조업체의 LTPS TFT 액정 패널 시험 제작 성공에 크게 공헌할 수 있었던 것을 매우 기쁘게 생한다. 향후 GIGANEX가 FPD 제조상의 새로운 솔루션으로 자리잡아 업계에 공헌할 수 있기를 기대하고 있다’고 말했다.
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