오로스테크놀로지가 중국의 주요 메모리 업체에 최근 오버레이 계측장비 공급을 완료했다고 8일 밝혔다. 이는 지난해 전망했던 ‘2022년 30%까지 해외 매출 비중 확대 예측’이 가시화될 수 있는 성과를 연초부터 달성해 낸 것이다.
오버레이 계측장비는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴이 정확하게 정렬되는지 측정하는 장비다. 패턴 간의 오차를 나노미터 단위로 검사하고, 노광기 위치를 보정해 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다. 기술적 난이도가 높아 현재 오버레이 계측장비를 양산할 수 있는 기업은 국내로는 오로스테크놀로지가 유일하고, KLA와 ASML 등이 주요 해외 기업이다.
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기존 오로스테크놀로지는 해당 장비를 주로 국내 시장에 공급해왔으나, 최근에는 해외 시장 진출에 적극적으로 나서고 있다. 현재 12인치 하이엔드 오버레이 계측장비와 8인치 오버레이 계측장비를 중심으로 다수의 해외 고객사와 제품 공급 논의를 진행하고 있다. 이미 오로스테크놀로지는 중화권에 있는 CS오피스를 중화법인으로 확대해 미국 실리콘밸리에 현지 법인을 설립하는 등 해외 고객사 대응력 강화를 위한 준비를 해왔다.
이러한 노력의 성과로 오로스테크놀로지는 중국의 주요 메모리 업체의 D램 공정에서 지난해부터 진행해오던 데모 테스트가 성공적으로 마무리되고 있으며, 실제 연초 장비 매출 실적에도 이바지해나가면서 지속해서 논의 중인 고객 FAB 확장에 따른 후속 제품 공급도 가능할 전망이다.
현재 중국 정부는 반도체 산업에 대한 대외 의존도를 줄이고 자체 공급망을 강화하는 ‘반도체 굴기’를 실현하기 위해 자국 반도체 시장에 막대한 지원을 펼치고 있다. 미국반도체산업협회(SIA)는 연초 발행한 보고서를 통해 “중국은 총 260억달러를 투자해 28개의 신규 반도체 팹 건설에 나서고 있다”며 “이에 중국의 메모리 반도체 생산량도 향후 5년간 연평균 40~50%의 성장률을 기록할 것”이라고 밝혔다.
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