반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사가 장치 가동률 향상을 위한 새로운 로드맵을 책정하고 수요가 높아지고 있는 반도체 칩 제조사의 니즈에 대응해 나가겠다고 발표했다.
기가포톤은 이번에 DUV 광원인 엑시머 레이저의 신용성(Reliability)·가용성(Availability)·보수성(Maintainability)을 강화하는 로드맵 ‘RAM Enhancement’을 책정했다. 업계에서는 한계라고 알려져 있는 ‘가동률 99.8%의 벽’을 2020년까지 허무는 작업에 착수했다.
반도체 칩 생산에 있어서 리소그래피 공정 가동률은 지대한 영향을 주는 파라미터이다. 따라서 장치 가동률을 최대화시키기 위해서는 ‘장기적인 안정 가동’ 및 ‘유지보수 시간의 최소화’가 필요하다. 기가포톤은 이러한 과제들을 해결하기 위해 모듈의 수명연장 및 필드 엔지니어에 의한 장치의 서비스성을 향상시키고, 가능한 한 장치를 정지시키지 않는 유지보수(maintenance)를 실현한다.
우선 ‘장기적인 안정 가동’을 위해 최신 ArF 액침 리소그래피 장치에서 주요 모듈인 챔버(AMP CH), 협대역화 모듈(LNM), 모니터 모듈(MM)의 수명을 각각 120Bpls까지 연장시킨다. 그리고 ‘유지보수 시간의 최소화’를 위해 장치의 수명 예상이나 유지보수 타이밍을 자동으로 산출하는 소프트웨어를 투입한다.
이러한 노력을 통해 2020년까지는 모든 고객이 필요한 유지보수 횟수를 1년에 한 번으로 줄이고 모듈 교환시간을 종래의 절반으로 삭감하여 가동률 99.8%의 벽을 허물 수 있게 된다(메모리 제조사의 펄스 사용량을 연간 60Bpls로 가정했을 경우).
대표이사 사장 우라나카 카츠미는 “최근 반도체 칩 수요가 높아짐에 따라 반도체 제조 장치의 가동률은 보다 더 중요해졌다. 당사가 추진하는 로드맵 ‘RAM Enhancement’는 그러한 고객의 니즈에 대응하기 위해 책정되었다. 당사는 앞으로도 고객의 요망과 시장 동향을 고려한 최적의 해결책을 제공해 나가겠다”고 말했다.
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