- 새로운 PVD와 PECVD를 통해 금속 산화물 박막 트랜지스터 기반의 초고해상도 디스플레이를 대량으로 생산할 수 있는 최적의 증착 기술 지원
- 대면적 TV와 저전력 고해상도 모바일용 디스플레이의 개발 및 생산 가속화

반도체 및 디스플레이, 태양전지 분야의 글로벌 장비업체인 어플라이드머티어리얼즈는 보다 우수한 디스플레이의 성능, 투명도, 색감과 휘도 개선을 원하는 소비자들의 요구를 충족시키기 위해 초고해상도(UHD)의 대형 LCD와 OLED 디스플레이 제조에 필요한 PVD와 PECVD 시스템을 선보인다고 17일 밝혔다.

이번에 선보이는 ‘Applied AKT-PiVot® 55K DT PVD’, ‘Applied AKT-PiVot 25K DT PVD’과 ‘Applied AKT 55KS PECVD’을 통해 금속 산화물(MO: Metal Oxide) 증착 기술 분야에서 어플라이드머티어리얼즈의 기술 혁신은 고해상도 디스플레이 제작에 필요한 보다 작고 빠른 박막트랜지스터(TFT)까지 확대되었다. 이러한 새로운 시스템은 정밀 재료 기술과 생산성 혁신을 바탕으로 미래 MO기반 디스플레이의 대량생산에 최적화된 비용 효과적인 솔루션이다.

MO 기반의 TFT는 일부 OLED TV 기술뿐만 아니라 저전력과 고해상도로 진화하는 스마트 폰과 태블릿 기술 구현을 가능하게 하며, 향후 4K TV에도 MO TFT가 적용될 것으로 예상된다. 어플라이드머티어리얼즈의 PVD와 CVD 시스템이 제공하는 균일한 성막 기술과 불량 입자 제어 기술은 디스플레이 제조업체들의 양산 시 높은 수율과 더불어 이 새로운 기술을 적용하는데 도움이 된다.

어플라이드머티어리얼즈의 글로벌 서비스 및 시장 성장을 총괄하는 상임 부사장 겸 총괄 매니저인 알리 살레푸어(said Ali Salehpour)는 “이번에 새롭게 발표한 어플라이드머티어리얼즈의 PVD와 PECVD시스템은 검증된 기술을 바탕으로 MO TFT 기술을 실현시킴으로써 디스플레이 업계의 개발 및 생산 계획을 가속화 시킬 것이다.”라며 “특히, OLED와 기술 구현에 필요한 균일한 성막, 불량 입자 제어, 회로 신뢰성 등의 문제를 해결하기 위해 고객과 긴밀하게 협력했다. 어플라이드머티어리얼즈는 이 솔루션들을 다른 기판 사이즈로까지 확대해 대면적 TV 또는 저전력 고해상도 디스플레이 제조를 위한 다수의 기술을 가능하게 함으로써 고객의 다양한 제품 전략을 지원하게 될 것이다.”라고 말했다.

어플라이드머티어리얼즈의 ‘AKT-PiVot® DT PVD 시스템 (2200mm x 2500mm 사이즈용 55K, 1500mm x 1850mm 사이즈 용 25K)’은 어플라이드머티어리얼즈의 독점 기술인 ‘회전식 캐소드 배치 기술’을 확대 적용하여, 매우 균일하고 결함이 적은 금속 전극, 픽셀 전극뿐만 아니라 MO(예, IGZO)를 증착 하는데 성공하였다. PiVot 시스템에서 균일하게 증착된 IGZO 막의 높은 TFT 신뢰성 달성 여부가 디스플레이 품질을 좌우하며, 중소형 및 대형 OLED용 MO TFT 기술 구현의 핵심이다.

TFT는 보다 집적화되고 기판 크기는 꾸준히 대형화됨에 따라서 균일한 성막 기술과 불량 입자 제어 기술이 수율에 미치는 영향이 현저히 증대 되었다. 새로운 시스템이 제공하는 플라즈마 방향 제어 기술과 회전식 타겟은 기존의 평면 타겟과 비교하여 현저하게 감소된 불량 입자와 뛰어난 균일 성막을 가능하게 한다. 보다 높은 투자 효율을 위해, 이 시스템의 단일 플랫폼 기반의 독자적인 이중 성막 공정은 설비 설치에 필요한 면적을 줄이면서 높은 생산 능력을 제공한다. PiVot 에서 증착 된 고품질 IGZO 막은 균일하고 결함이 적은 금속 전극, 픽셀 전극과 함께 새로운 기술 혁신을 가능하게 한다.

어플라이드머티어리얼즈의 새로운 AKT 55KS PECVD 시스템은 시장을 선도하는 정밀 PECVD 기술을 2200mm x 2500mm 사이즈 기판에 적용했다. 이 기술은 향상된 품질의 새로운 실리콘 산화물(SiO2) 절연막을 MO TFT 에 증착함으로써 수소 불순물을 최소화하고, 트랜지스터의 장기 신뢰성을 개선하여 디스플레이 성능을 최적화 했다. AKT-55KS PECVD 시스템은 높은 생산성과 수율 달성에 필요한 균일한 성막 기술과 불량 입자 제어 기술을 제공함으로써, 보다 쉽고 빠르게 고품질 MO TFT 디스플레이 생산을 가능하게 한다.

어플라이드머티어리얼즈는 최첨단 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등의 제조를 위한 혁신 장비, 서비스 및 소프트웨어를 제공하는 세계적 선두 기업이다. 어플라이드머티어리얼즈의 기술은 스마트폰, 평면 스크린 TV, 태양광 패널과 같은 첨단 제품의 가격 경쟁력 및 접근성을 높이는 데 적용되며, 전 세계 기업과 소비자들에게 혜택을 주고 있다. 어플라이드머티어리얼즈에 대한 보다 자세한 정보는 www.appliedmaterials.com 에서 확인 가능하다.