어플라이드머티어리얼즈는 차세대 휴대용 컴퓨터 및 TV에 적용되는 고성능∙고해상도 디스플레이 제조를 위한 새로운 PECVD(플라즈마화학증착기) 필름 기술을 선보인다고 밝혔다.
AKT-PECVD 시스템에 적용되는 고성능 절연필름은 소비자가 원하는 고화질 스크린 제조에 필요한 보다 작고 빠른 전환 속도의 픽셀을 생산하는 금속 산화막 기반 트랜지스터의 사용을 가능하게 한다.
새로운 PECVD 필름은 금속 산화막 트랜지스터에 수소 불순물을 최소화시킬 수 있는 절연막 계면을 제공함으로써, 트랜지스터의 안정성을 향상시키고 스크린의 성능을 최적화시킨다. AKT-PECVD 시스템을 사용하면 이러한 고품질 이산화규소(SiO2) 필름을 9m2 크기의 유리기판 위에 정확하고 균일하게 증착시킬 수 있으며, 보다 적은 제조 비용으로 고수율 생산을 실현할 수 있다.
어플라이드머티어리얼즈의 AKT 디스플레이 사업 부문 총괄 책임자 겸 부사장인 톰 에드먼은 “디스플레이 제조업체들이 금속 산화막 트랜지스터 역량을 키우기 위해 적극적으로 투자하고 있는 현 시점에서, 최첨단 PECVD 필름은 복잡한 구조의 절연필름이 가지고 있던 균일성 및 안정성의 문제를 해결하였다.”라고 밝히며, “세계적 수준의 AKT-PECVD 시스템을 보유하고 있는 어플라이드머티어리얼즈는 금속 산화막에 절연필름을 증착시키는 새로운 기술을 시장에 비용 효율적으로 빠르게 도입할 수 있는 방법을 제공할 방침이며, 이 기술에 대한 주요 디스플레이 제조업체의 수요가 계속 늘어날 것으로 기대하고 있다.”라고 덧붙였다.
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