어플라이드머티어리얼즈는 최첨단 이면조사형(BSI) 이미지 센서 제조 장비인 ‘어플라이드 프로듀서 옵티바(Applied Producer짋 Optiva™)’ CVD 시스템과 함께 주사전자현미경(SEM)으로 반도체 제조공정 중 발생하는 결함을 검사하는 ‘어플라이드 SEMVision™ G5’ 시스템을 출시했다.
어플라이드 프로듀서 옵티바 CVD 시스템은 저온에서 컨포멀 필름(conformal films)의 증착을 가능하게 함으로써 센서의 저광량을 높이고 내구성을 확보할 수 있게 한다. 이는 저비용으로 제품의 수율을 대폭 향상시킬 수 있다는 측면에서 의미가 깊다.
보다 향상된 이미지 센서는 광센서의 한 종류인 포토다이오드 마이크로렌즈(microlens)와 함께 장착되어 각 픽셀의 집광력을 높인다. 어플라이드 프로듀서 옵티바 CVD 시스템은 마이크로렌즈를 한층 강화된 얇고 투명한 필름 레이어로 덮어 이러한 기능을 향상시킨다. 센서 제조에 꼭 필요한 화합물인 폴리머와 접착제는 매우 섬세해 온도의 영향을 크게 받는데, 이 장비는 200 ℃ 이하의 저온에서 컨포멀 증착을 가능케 하는 최초의 CVD 시스템이다.
어플라이드 SEMVision G5 시스템은 반도체 칩 제조 기업이 공정 중 어떠한 인력 개입 없이도 20 nm 단위의 결함 유무를 분석할 수 있도록 하는 최초의 장비이다. 기존의 장비와 비교해 로직칩겦貧霽??제조 시 보다 빠르고 정밀하게 결함의 원인을 찾아내며, 이를 1나노미터 픽셀 단위로 이미징할 수 있게 한다.
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