어플라이드머티어리얼즈는 혁신적인 기술을 적용한 ‘어플라이드 프로듀서® 옵티바™(Applied Producer® Optiva™)’ CVD(chemical vapor deposition, 화학기상증착) 시스템 및 ‘어플라이드SEMVision™ G5’ 결함검사 시스템을 선보인다고 밝혔다.
이번에 선보인 ‘어플라이드 프로듀서® 옵티바™’ CVD 시스템은 대부분의 스마트폰, 타블렛 PC, 고사양 카메라 등에 사용되는 최첨단 BSI(백사이드 일루미네이션, 이면조사형) 이미지 센서 제조 장비이다. 혁신적인 기술이 적용된 이 시스템은 저온에서 컨포멀 필름(conformal films)의 증착을 가능하게 함으로써, 센서의 저광량을 높이고 내구성을 확보할 수 있게 한다. 이는 저비용으로 제품의 수율을 대폭 향상시킬 수 있다는 측면에서 더욱 의미가 깊다.
보다 향상된 이미지 센서는 광센서의 한 종류인 포토다이오드(photodiodes) 마이크로렌즈(microlens)와 함께 장착되어 각 픽셀의 집광력을 높인다. ‘어플라이드 프로듀서® 옵티바™’ CVD 시스템은 마이크로렌즈를 한층 강화된 얇고 투명한 필름 레이어로 덮어 이러한 기능을 향상시킨다. 센서 제조에 꼭 필요한 화합물인 폴리머(polymers)와 접착제는 매우 섬세해 온도의 영향을 크게 받는데, 어플라이드머티어리얼즈의 새로운 장비는 섭씨 200도 이하의 저온에서 컨포멀 증착을 가능케 하는 최초의 CVD 시스템이라는 부분에서 무엇보다도 주목할 만하다.
어플라이드머티어리얼즈의 유전체 시스템 모듈 비즈니스 부서의 총괄책임자인 빌 맥클린톡(Bill McClintock)은 “프로듀서 플랫폼을 매우 빠른 속도로 운영할 수 있는 ‘어플라이드 프로듀서® 옵티바™’ CVD 시스템은 급속도로 성장하는 BSI 이미지 센서 시장에서 큰 역할을 하게 될 것이다.”라고 말했다.
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