비코는 TurboDiscⓇ EPIK700™ 질화갈륨(GaN) MOCVD 시스템을 출시했다. 이 제품은 적은 운영비용으로 동종 업계 중 최고 수준의 생산성과 수율을 제공함으로써 일반 조명 애플리케이션을 위한 LED 제조비용을 더욱 줄일 수 있다.
EPIK700 MOCVD 시스템은 비코 고유의 터보디스크(TurboDisc) 기술이 적용되어 기존 리액터보다 처리 용량이 2배 이상 늘어난 업계 최대형 리액터가 특징이다. 또한 리액터의 수용량이 늘어난 것을 비롯해 공정 균일성 및 생산성도 향상되어 처리량이 기존 리액터보다 2.5배나 늘어났다.
비코의 새로운 EPIK700 MOCVD 시스템은 LED 업계 최고의 생산성이 특징인 MOCVD 시스템으로 기존 제품보다 소유비용을 최대 20% 낮출 수 있다.
또한 1 ~ 2개 리액터 구성으로 이용할 수 있으며 새로운 IsoFlange™ 중앙 유량 공급장치 및 TruHeat™ 웨이퍼 히터 코일을 포함한 기술이 적용되어 전체 웨이퍼 캐리어에서 균질한 유량 공급(laminar flow) 및 일관된 온도 프로파일(온도 변화 특성)을 제공한다.
한편 양산용으로 개발된 EPIK700은 31 x 4”, 12 x 6” 및 6 x 8” 인치의 웨이퍼 캐리어 사이즈에 적용할 수 있다.
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