다우코닝은 micropipe dislocations(MPD), threading screw dislocations(TSD), basal plane dislocations(BPD)와 같은 치명적인 기기 결함에 대한 새로운 허용오차(tolerances)를 구체적으로 명시한 제품 등급체계를 도입해 실리콘 카바이드(silicon carbide, SiC) 고결정성의 업계 기준을 만들었다.
이 획기적인 등급체계는 다우코닝의 100-mm SiC 웨이퍼의 고결정 프라임급 포트폴리오에 조립되는 차세대 전기?전자 기기 디자인의 설계 범위와 성능, 비용 등을 최적화하기 위해 마련됐다. 다우코닝은 100-mm SiC 웨이퍼의 프라임급 포트폴리오를 제조 기판의 품질에 따라 새롭게 프라임 스탠다드(Prime Standard), 프라임 셀렉트(Prime Select), 프라임 울트라(Prime Ultra)와 같이 세 등급으로 분류해 제공한다.
새로운 제품 등급체계인 각각의 프라임급 웨이퍼 등급은 SiC 웨이퍼의 결함 밀도와 주요 특성 항목보다 세밀한 허용 오차를 제시하기 때문에 고객들은 특정소자의 적용수요에 따라 정확하게 웨이퍼의 품질과 가격 간의 균형을 맞출 수 있다. 대다수의 SiC 기판 제조사들이 낮은 마이크로파이프 밀도를 제공하는 반면, 다우코닝은 최초로 TSD, BPD와 같은 다른 치명적인 결함에 대한 낮은 허용오차를 구체적으로 명시했다.
이 같은 결함들은 반도체 수율을 감소시키고, 비용 효율적인 대면적 제조 및 더욱 높은 정격전류를 가진 차세대 전기전자 반도체 소자의 제조에 제약을 가한다. 한편 다우코닝의 모든 100mm 프라임급 SiC 웨이퍼는 현재 개발 중인 반도체 소자 제조공정 간의 호환성을 위해 우수한 역학적 특성을 일관되게 제공한다.
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