EV 그룹은 공정 쓰루풋과 장비 기능을 증대시킬 수 있는 XT 프레임이라는 새로운 장비 플랫폼을 발표했다. 특히, 양산제조 고객들의 새로운 요구사항을 반영하여 설계된 XT 프레임은 EVG의 기존 장비 능력의 두 배인 9개의 공정 모듈을 수용할 수 있어 쓰루풋을 대폭 향상시킬 수 있다. 또한 하나의 장비 플랫폼에 다른 공정 모듈들을 결합해 사용할 수도 있어 고객들은 보다 유연하게 제품을 이용할 수 있다.
최근 스마트폰이나 핸드셋과 같은 양산용 컨수머 제품에 이용되는 부품들을 포함해 웨이퍼 레벨에서 생산되는 디바이스 유형이 늘어나면서 팹에서의 생산 쓰루풋을 증가시킬 수 있는 새로운 솔루션에 대한 필요성도 함께 커지고 있는 실정이다. EVG의 새로운 XT프레임 플랫폼은 초고속 핸들링 시스템을 가진 EFEM과 최대 4개의 FOUP 로드 포트 뿐만 아니라, 웨이퍼 여러 장을 동시에 처리할 수 있는 충분한 모듈을 제공한다. 이는 로컬 LFSS 형태의 재료 버퍼와 결합되어 매우 효율이 높은 연속 모드 동작 기능을 제공할 수 있다.
XT 프레임 아키텍처는 최대 5개의 공정 모듈 지원이 가능하고 필드에서 성능을 인정받은 EVG의 표준 장비 플랫폼을 더욱 확대한 것이다. 또한 최근에 자동화 능력이 강화되었고, 보다 높은 쓰루풋을 낼 수 있도록 개선되었다.
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