
고어(
www.gore.com)가 반도체, 평판 디스플레이 산업에 사용되는 고순도 케미컬 공정용으로 차세대 ePTFE(expanded Poly Tetra Fluoro Ethylene) 멤브레인이 적용된 HDPE(High-Density Polyethylene) 카트리지 필터 신제품을 선보였다. 본 제품은 2012년 2월 7일~9일까지 서울 코엑스 전시장에서 개최되는 ‘2012 SEMICON KOREA’ 전시회에서 공개될 예정이다.
이번에 새롭게 선보이는 GORE® PTFE/HDPE 필터 제품군의 가장 큰 특징은 고어의 차세대 ePTFE 멤브레인 기술을 적용해 업계 최고의 입자 제거율과 고유량 성능 간에 최적의 조화를 제공한다는 점이다. 또한 PTFE외의 기타 재질로는 모두 고농도의 HDPE재질을 적용해 유기 및 금속 이온의 점도를 현저하게 낮췄다.
GORE® PTFE/HDPE 필터는 0.1µm, 30nm, 20nm 등 총 3가지로 제공되는데, 이 중 20nm 제품의 경우 세계 최초의 20nm PTFE 멤브레인 HDPE 카트리지 필터라는 점에서 이목이 집중되고 있다. 본 제품에 적용된 차세대 PTFE 멤브레인은 다공성 면적이 증가해 유량은 더욱 높여주고, 독특한 구조적 특징으로 입자 제거율은 더욱 향상시킨다.
이 같은 혁신적인 성능 향상을 통해 동급의 입자 제거율을 제공하는 업계 최고 성능의 필터 제품보다 유량이 무려 150%에서 최대 400%까지 높아졌다. 일례로, GORE® PTFE/HDPE 20nm 제품은 업계 최고 성능의 0.05µm PTFE 멤브레인 필터보다 입자제거 성능이 향상됐음에도 유사한 유량을 제공한다. 따라서 기존 시스템의 유량을 유지하면서 입자 제거율을 혁신적으로 높이거나, 반대로 동일한 입자 제거율을 제공하면서 유량을 혁신적으로 높일 수 있다.
뿐만 아니라 높은 호환성으로 기존 하우징에 설치된 필터와 손쉽게 교체할 수 있으며, 동시에 공정 생산성을 높이거나 또는 필요한 필터 수량을 최소화할 수 있기 때문에 높은 회전율의 재순환 필터 시스템이나 고용량 케미컬 충진 및 포장 최종 필터로 적용시 가장 이상적이다.
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