첨단 기술로 기존 장비 가치의 지속적 향상 지원
세계적인 리소그래피 광원 제조사인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)(본사: 도치기현 오야마시, 대표이사 사장: 토마루 히토시(Hitoshi Tomaru))이 신규 사업에서 레이저 업그레이드를 수주, 제공했다고 발표했다. 기가포톤은 이를 통해 양산 라인의 기존 노광 장치와 연결된 기존 엑시머 레이저 광원을 최신 모델로 교체했다. 기가포톤은 제조사와 관계 없이 초기 KrF 모델부터 ArF 액침 리소그래피에 사용되는 레이저에 이르기까지 광범위한 레이저를 교체할 수 있으며 다수 고객과 지역에 이를 제공한 실적을 축적해 왔다.
사물인터넷(IoT) 기반 사업이 부상하면서 통신 칩 센서와 MEMS를 생산하는 200mm 파운드리의 가동률이 계속 상승하고 있다. 반면 기존 장비 업그레이드로 생산성 향상을 추구하려는 움직임도 꾸준히 증가하고 있다. 운영 비용을 절감하고 구형 레이저의 유지보수로 야기되는 다운타임을 줄이는 문제도 고객사의 주요 고민거리로 대두됐다.
기가포톤이 제공하는 신규 사업 솔루션을 통해 구형 레이저를 고객사의 파장에 맞는 최신 모델로 교체함으로써 고객사의 필요와 과제를 해결할 수 있다. 레이저 업그레이드는 기존 리소그래피 장비의 생산성을 높이는 한편, 예상 운영 비용과 다운타임을 획기적으로 낮춰준다.
토마루 히토시 기가포톤 대표이사 사장은 “DUV 광원 양산공정이 등장한지 20년이 지난 지금 전 세계 생산 공장에서 4000대 이상의 레이저가 가동되고 있다”며 “레이저 업그레이드에 관한 고객사의 기대가 높아지고 있는 점에 비추어 이 부문 시장이 신형 레이저 시장과 비슷한 규모로 성장할 것으로 본다”고 내다봤다. 이어 “기가포톤이 제공하는 첨단기술은 고객사 장비의 성능을 개선하고 양산 공장 생산을 활성화하는 동시에 운영비용을 현저히 낮춰준다”며 “이는 고객사에 대량생산(HVM) 지원을 제공한다는 우리의 사명과 관련된 중요한 진전이라 확신한다”고 강조했다. 그는 “전 세계 양산 공장의 지속적인 가치 향상을 위해 계속 매진할 계획”이라고 덧붙였다.
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