어드밴스드 에너지, 주력 Paramount RF Generator 제품군 확대해
  • 2021-01-20
  • 신윤오 기자, yoshin@elec4.co.kr

어드밴스드 에너지는 새로운 Paramount HP 10013 Generator를 출시하며 주력 Paramount RF(무선 주파수) Generator 제품군을 확대한다고 밝혔다.

반도체 및 산업용 박막 적용을 위해 설계된 Parametar HP 10013은 도체 에치, 유전체 에치, 침전, 스퍼터링 및 이온 주입을 포함한 플라즈마 적용을 위한 AE의 업계 선도적인 전력 공급 시스템을 기반으로 한다.


Paramount HP 10013은 정확하고 반복 가능한 펄스 전력을 위해 낮은 평균 전력으로 높은 임펄스 에너지를 전달하는 능력과 함께 Paramount 13.56MHz 플랫폼에 더 높은 전력 10kW 용량을 추가한다. 더 높은 전력은 플라즈마 밀도와 이온 에너지를 증가시켜 더 빠르고 깊은 에칭과 더 빠른 침전 과정을 가능하게 하며 첨단 고측면 비율 장치와 새로운 적용 분야에 대한 요구 사항을 충족시킨다.

피터 길레스피(Peter Gillespie) Advanced Energy 반도체 및 컴퓨팅 제품 분야 수석 부사장은 “IC는 이제 소비자, 엔터테인먼트, 제조, 컴퓨팅, 운송 및 기타 여러 시장에서 거의 모든 제품의 일부가 되면서 우리의 업계는 정밀 공정 능력에 대한 훨씬 더 광범위한 적용 분야와 과제에 직면해 있다.

AE의 Paramount 제품군은 업계 최초로 상업적으로 실행 가능한 전체 디지털 RF 전원 공급 장치로 RF 펄스를 개척했다. 더 높은 전력 솔루션을 도입함으로써 AE는 고객이 보다 복잡한 3차원 아키텍처와 신소재를 개발하는 데 있어 혁신을 가능하도록 만들었다”고 말했다.

Paramount 플랫폼의 디지털 아키텍처는 정밀한 전력 관리 기능을 제공하며 하드웨어를 변경할 필요 없이 새로운 기능 통합을 간소화한다. 전체 디지털 제어 기능은 플라즈마 변화를 동적으로 실시간 감지하고 반복 가능한 성능으로 고출력 출력을 제공한다. 디지털 인터페이스를 통해 다른 RF 발전기와 동기화할 수 있으며 반도체 업계에서 가장 널리 사용되는 플라즈마 전력 공급 솔루션인 AE의 시장 선도적인 Navigator 및 Navigator II 디지털 매칭 네트워크 라인에 원활하게 연결할 수 있다.

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