인테그리스, 반도체 수율 높이려면 소재 오염도 관리가 중요

  • 2018-02-02
  • 오민준 기자, mjoh@elec4.co.kr

반도체 수율 높이기 위해 오염 제거 기술 공개
2017년 매출 40% 성장, 2018년은 10% 성장 예상


첨단 소재 전문 기업, 인테그리스가 반도체 소재 오염도를 제거하는 최첨단 솔루션 발표와 함께 2017년 사업 성과를 발표했다. 지난해 호황이었던 메모리 반도체에 따라 실적 향상이 이뤄졌고, 한국 시장에 대한 투자도 확대한다는 계획이다.
 
인테그리스는 세미콘코리아 개막에 맞춰 기자간담회를 열고, 국내 사업 성과와 함께 특정 오염을 제어하는 기술인 옥토레스 멤브레인 기술을 처음으로 공개했다.
 
 
홍완철 인테그리스 코리아 사장은 인텔, 삼성, TSMC 등 반도체 기업들이 소재 제조 단계부터 오염을 원천적으로 예방할 수 있는 기술을 적용하고 있다고 최신 동향을 전했다. 그러면서 이는 검사만으로 반도체의 순도를 높이고 수율을 높이는 데 한계에 봉착했기 때문으로 이를 타개하기 위해 소재 오염도를 관리하기 시작했다고 말했다. 예방, 선행이란 관점에서 소재 오염도를 제거하는 기술이 발전하고 있다는 설명이다.
 
인테그리스는 이에 맞춰 로직, DRAM, 3D 낸드 디바이스 제조용 ArF, KrF, EUV 노광장비 애플리케이션의 특정 오염을 제어하는 기술인 옥토레스(Oktolex) 멤브레인 기술을 소개했다. 옥토레스의 멤브레인은 각 화학 물질의 요구에 맞게 각 멤브레인 유형들이 저마다 보유한 고유의 메커니즘을 강화해 중요한 광화학적 오염 물질을 제거할 수 있는 기술이다.
 
인테그리스는 옥토레스 멤브레인 기술이 해외에 이미 공급됐고, 한국에서도 공급될 예정이라고 밝혔다. 인테그리스는 EUV용 레티클 팟, 노광장비에 들어가는 불순물 제거 장비인 가스정제시스템(GPS) 등을 삼성전자와 SK하이닉스에 공급하고 있다.
 
2017년 매출 총액 13억 달러, 한국 시장 수요 증가

국내 사업 성과와 관련된 발표도 이어졌다. 인테그리스는 발표를 통해 2016년 매출 총액은 12억 달러(약 1조 3천억 원)이고, 집계 중인 2017년 매출 총액은 13억 달러(약 1조 4천억 원)이라고 밝혔다. 이중 반도체의 비중이 77%로 아시아 지역이 많은 비중을 차지하고 있으며, 한국은 수요 증가로 인해 2017년 매출이 전년대비 40%나 성장했다고 밝혔다.
 
인테그리스는 강원도 원주와 경기도 화성(장안)에 공장을 가동 중이고, 원주 공장은 2017년 매출이 50% 성장했고, 30% 고용이 증가했으며, 올해도 10% 매출 증가를 기대하고 있다고 밝혔다. 장안 공장도 2017년 30% 고용이 증가했고, 올해도 30% 증가 계획을 하고 있다면서 두 공장을 아시아의 생산기지로 발전시키겠다는 청사진도 내보였다. 인테그리스는 최첨단 기술인 3D 낸드(NAND) 등의 첨단 노드를 지원하기 위해 최근 PSS(Particle Sizing Systems)도 3,700만 달러에 인수했다.

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